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发明名称 Polishing apparatus and method
摘要
申请公布号 EP1366859(B1) 申请公布日期 2005.08.24
申请号 EP20030425333 申请日期 2003.05.23
申请人 DELLA TOMMASINA, VITTORIO 发明人 DELLA TOMMASINA, VITTORIO
分类号 B24B19/00;B24B31/10;B24B35/00;B24B57/04;(IPC1-7):B24B31/10 主分类号 B24B19/00
代理机构 代理人
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