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发明名称
摘要
申请公布号 JP3688102(B2) 申请公布日期 2005.08.24
申请号 JP19970241511 申请日期 1997.09.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;C23C16/26;H01J11/12;H01J11/22;H01J11/24;H01J11/26;H01J11/34;H01J11/36;H01J11/40;H01J11/42;(IPC1-7):H01J11/02 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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