发明名称
摘要
申请公布号 JP3688239(B2) 申请公布日期 2005.08.24
申请号 JP20020018192 申请日期 2002.01.28
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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