发明名称 集成化探针卡及组装方式
摘要 一种集成化探针卡及组装方式,其主要包含有:若干探针;一电路空间转换器,其内布设有多层的线路,并于二相对端面上,分别形成出与该线路导通的接点,该等探针接合于其一端面的接点上;一弹性电路沟通连接板,包含有一容置板及若干弹性件;该容置板内部形成有若干预定数量并通贯顶、底面的容室,该各弹性件分别置于该各容室内,并由其两端凸露于该容室顶、底端外,以其一端与该电路空间转换器上一端的接点导通;一电路板,布设有若干与该各弹性件另一端导接的线路及导接点;一水平调整机构;于此,由该水平调整机构依序将探针、电路空间转换器、弹性电路沟通连接板及该电路板固置于其中,以对该电路空间转换器的水平度进行调整。
申请公布号 CN1657949A 申请公布日期 2005.08.24
申请号 CN200410005245.X 申请日期 2004.02.17
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 张智崇;王宏杰;周敏傑;潘昆志;黄雅如;蔡居恕;陈智伟
分类号 G01R1/073;G01R1/067;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周长兴
主权项 1.一种集成化探针卡,其特征在于,主要包含有:若干数量的探针;一电路空间转换器,其内布设有多层线路,并于该电路空间转换器的二相对端面上,分别形成出密度不一而与该各线路导通的接点,该等探针的一端接合于密度较高的一端面接点上,使该等探针的电性可由线路而传导至密度较低的接点上;一弹性电路沟通连接板,包含有一容置板及若干弹性件;该容置板内部形成有若干预定数量并通贯顶、底面的容室,该各弹性件具有导电性及预定的压缩伸张弹性,分别置于该容置板的各容室内,并使该各弹性件的两端略为凸露出于该容室顶、底端之外,而以其一端与该电路空间转换器上密度较低的接点接触而导通;一电路板,于其一端面上布设有若干的线路及导接点,与该弹性电路沟通连接板的各弹性件另一端导接,以测试由探针所传输的电性讯号,并使该弹性件受该电路空间转换器及该电路板的抵压而产生一压缩弹性预力;一水平调整机构,依序将探针、电路空间转换器、弹性电路沟通连接板及该电路板固置于其中,以对该电路空间转换器的水平度进行调整,并由该弹性件的压缩预力加以补偿电路空间转换器与该弹性电路沟通连接板间的位置落差,以保持电性的导通。
地址 台湾省新竹县竹东镇