半导体制造过程及合格率分析综合实时管理方法

摘要

本发明提供一种半导体制造过程及合格率分析综合实时管理方法。其包含有在半导体制造过程中以多个项目检测多个半导体产品，以产生及纪录多个检测结果，并以一预设规则将半导体产品分成多个种类，产生一初始数据以纪录于一数据库中，依一预设产品规则及参数来索引多个半导体产品种类及数据库中相关的初始数据，以计算一相关分析结果，并依照索引的半导体产品种类及初始数据来显示分析结果。

主权项

1.一种半导体制造过程及合格率分析综合实时管理方法，该方法包含有：于半导体制造过程中，使用多个项目来检测多个半导体产品，并且记录各半导体产品的检测结果；依照一预定规则将该多个半导体产品分为多个种类，并依据各种类的检测结果产生一原始数据，将该原始数据与相关种类储存于一数据库；依照一预设产品规则来索引该数据库的多个半导体产品种类，以及依照一预定参数来索引各半导体产品种类相对应的初始数据，并从索引的半导体产品种类与原始数据中，以一分析模块计算相对应的一分析结果；以及依半导体产品种类及原始数据显示该分析结果。