使用狭缝声波的SAW传感器装置及其方法

摘要

本发明公开了一种使用狭缝声波的SAW传感器装置及其方法。该使用狭缝声波的SAW传感器装置包括压电介质，其具有其一个部分处的薄膜，另一个部分处的介质，以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝；输入IDT，其被形成于压电介质的窄狭缝中的外部处，用于将电输入信号转换成狭缝声波；以及输出IDT，其被形成于与输入IDT相对的外部，用于接收经传播的狭缝声波并将该波转换成电信号，从而使被传输给该装置的外部压力被感测。使用狭缝声波的SAW传感器装置及其方法可通过使用在窄狭缝的谐振器中产生的狭缝声波的频率和速度偏移的相关性，来获得外部压力的强度以及经过窄狭缝的液体的粘度和介电常数。

主权项

1.一种使用狭缝声波的SAW传感器装置，包括：压电介质，其具有其一个部分处的薄膜，另一个部分处的介质，以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝；输入IDT，其被形成于压电介质的窄狭缝中的外部处，用于将电输入信号转换成狭缝声波；以及输出IDT，其被形成于与输入IDT相对的外部，用于接收经传播的狭缝声波并将该波转换成电信号，从而使被传输给该装置的外部压力被感测。