,申请号JP19960534052-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP3686678(B2)	申请公布日期	2005.08.24
申请号	JP19960534052	申请日期	1996.03.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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