主权项 |
1.一种真空室内实现在线更换基片的装置,包括由真空罩(141)构成的真空室(14),在真空室(14)内的底板上置有蒸发源(1),由真空罩(141)顶上伸进真空室(14)内有转轴(6-7),在真空室(14)外的转轴(6-7)上带有的副齿轮(4)与传动轴(12)上的主齿轮(13)啮合,传动轴(12)通过连接元件(11)与动力轮(10)相连,其特征在于所说的转轴(6-7)是由空心转轴(6)和在空心转轴(6)内同中心轴线置放的实心转轴(7)构成,在真空室(14)外的空心转轴(6)上有第一顶丝(5)和第二顶丝(9),在实心转轴(7)的顶端上置有螺母(8);在伸进真空室(14)内的空心转轴(6)的底端上装有第二主齿轮(15)与第二实心转轴(17)上的第二副齿轮(18)啮合,在第二实心转轴(17)的底端上装上置放待镀膜基片的基片夹具(3);在伸进真空室(14)内的实心转轴(7)的底端上装有第三主齿轮(16)与连接杆(20)上的第三副齿轮(19)啮合,在连接杆(20)的底端上,在基片夹具(3)与蒸发源(1)之间装上挡板(2),所述的挡板(2)具有一扇形缺口(201),该扇形缺口(201)的角度为60°或180°。 |