薄膜电阻元件及其制造方法

摘要

一种薄膜电阻元件，是一种在基板上形成具有规定长宽的电阻体薄膜，在宽度方向上横跨该电阻体并露出电阻体两端部地形成绝缘体层图形，然后使绝缘体层的周缘形成倾斜，使两电极可分别通过基础镀层连接到电阻体两端部的薄膜电阻元件。提供一种可实现电极低电阻化，且电阻值偏差小、精度高的薄膜电阻元件。

主权项

1.一种薄膜电阻元件，具有形成在基板上的薄膜电阻体；在该电阻体的宽度方向上横跨在该电阻体上的图形化的绝缘体层；成膜在所述电阻体及所述绝缘体层上的一对基础镀层，该基础镀层在该绝缘体层上在该电阻体的宽度方向上横穿所述电阻体，在该电阻体的长度方向上被分割成一对；和通过电镀，形成在该基础镀层表面上的一对电极，所述绝缘体层的周缘形成倾斜形状。