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经营范围
发明名称
METHOD OF FORMING A LAYER ON A WAFER
摘要
申请公布号
KR20050082457(A)
申请公布日期
2005.08.24
申请号
KR20040010879
申请日期
2004.02.19
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
YAHNG, JI SANG;PARK, YOUNG WOOK;HAN, JAE JONG;CHANG, JUM SOO
分类号
H01L21/31;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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