发明名称 METHOD FOR VAPOR-DEPOSITING STRIP-SHAPED SUBSTRATES WITH A TRANSPARENT BARRIER LAYER MADE OF ALUMINUM OXIDE
摘要
申请公布号 EP1565591(A2) 申请公布日期 2005.08.24
申请号 EP20030757995 申请日期 2003.10.16
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SCHILLER, NICOLAS;STRAACH, STEFFEN;RAEBISCH, MATHIAS;FAHLAND, MATTHIAS;CHARTON, CHRISTOPH
分类号 C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/35;C23C28/00;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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