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发明名称
METHOD FOR VAPOR-DEPOSITING STRIP-SHAPED SUBSTRATES WITH A TRANSPARENT BARRIER LAYER MADE OF ALUMINUM OXIDE
摘要
申请公布号
EP1565591(A2)
申请公布日期
2005.08.24
申请号
EP20030757995
申请日期
2003.10.16
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
SCHILLER, NICOLAS;STRAACH, STEFFEN;RAEBISCH, MATHIAS;FAHLAND, MATTHIAS;CHARTON, CHRISTOPH
分类号
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/35;C23C28/00;(IPC1-7):C23C14/02
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
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