发明名称 激光光路预对准器
摘要 本发明涉及激光应用领域,特别是激光光路预对准器。它是在一段具有一定长度的中空直管的两端分别设置一个叉丝,叉丝位于透明玻璃的表面,进光端玻璃透明,出射端为毛玻璃;两叉丝中心的连线与直管的轴线平行。或是在一段具有一定长度的中空直管的两端分别设置一个光阑,两光阑中心的连线与直管的轴线平行。主要解决现有调准方法需要利用光学系统可以利用光学性质先进行粗校准再进行精细调节,以致于工作效率降低的技术问题,利用此工具可以大大降低光学系统的装调的难度,提高工作效率。
申请公布号 CN1658018A 申请公布日期 2005.08.24
申请号 CN200510024169.1 申请日期 2005.03.02
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 刘畅
分类号 G02B27/30 主分类号 G02B27/30
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 王敏杰
主权项 1、一种激光光路预对准器,其特征在于:在一段具有一定长度的中空直管的两端分别设置一个十字叉丝,十字叉丝位于透明玻璃的表面,进光端玻璃透明,出射端为毛玻璃;两十字叉丝中心的连线与直管的轴线平行。
地址 201203上海市浦东新区张东路1525号