包含氧化剂和有机溶剂的微电子清洁组合物

摘要

适用于清洁具有二氧化硅、低κ或高κ电介质和铜或铝金属化的微电子结构的清洁组合物包含氧化剂和选自酰胺、砜、环丁烯砜、硒代砜和饱和醇的极性有机溶剂，及任选的其它组分。

主权项

1.一种用于从微电子基底清洁光致抗蚀剂和残留物的清洁组合物，所述清洁组合物包含：氧化剂；选自酰胺、砜、环丁烯砜、硒代砜和饱和醇的极性有机溶剂；和任选地一种或多种以下组分：酸、碱、腐蚀抑制共溶剂、螯合剂或金属络合剂、氧化剂稳定剂、腐蚀抑制剂、金属腐蚀抑制剂、氟化物、表面活性剂和水。