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发明名称 GCIB PROCESSING OF INTEGRATED CIRCUIT INTERCONNECT STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1565933(A2) 申请公布日期 2005.08.24
申请号 EP20030779469 申请日期 2003.11.05
申请人 EPION CORPORATION 发明人 HAUTALA, JOHN, J.
分类号 C23F4/00;H01L;H01L21/302;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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