发明名称 更换炉管内气体注入管的辅助装置
摘要 本发明提供一种更换炉管内气体注入管的辅助装置,包含:一升降机;一设置于该升降机平台的基座;一设置于该基座上方的滑轨;一设置于该滑轨上的支撑臂座;一支撑手臂,其底部与该支撑臂座相结合,而支撑手臂的顶部是为一凹槽结构,可与一气体注入管的部分结构相接合;以及一固定夹,用以固定该气体注入管于该支撑手臂顶部。该装置可在一持续运转的炉管内,在无需降温的情况下,与原有用来搭载晶舟的升降机进行结合,并藉由此辅助装置来执行气体注入管的拆卸与安装动作,这样不但能确保操作人员的安全,同时也能在不中断生产过程的情况下,准确地完成气体注入管的更换动作。
申请公布号 CN1657649A 申请公布日期 2005.08.24
申请号 CN200410006833.5 申请日期 2004.02.19
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 洪政忠
分类号 C23C16/455 主分类号 C23C16/455
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 任永武
主权项 1.一种更换炉管内气体注入管的装置,包含:一升降机;一基座,该基座是设置于该升降机上的一平台;一滑轨,该滑轨是设置于该基座上方;一支撑臂座,该支撑臂座是设置于该滑轨上;一支撑手臂,该支撑手臂的底部是与该支撑臂座相结合,而该支撑手臂的顶部是为一凹槽结构,可与一气体注入管的部分结构相接合;以及一固定夹,用以固定该气体注入管于该支撑手臂顶部。
地址 台湾省新竹科学园区研新一路16号