发明名称 用于在基板上沉积有机材料的装置
摘要 本发明公开一种装置,其包括滴落单元、传输单元和位置调整单元。该滴落单元滴落有机材料滴。该传输单元沿着第一方向传输滴落单元。该位置调整单元插入在滴落单元和传输单元之间,以调整滴落单元的位置。因此,滴落该有机材料的装置具有小尺寸,并能将该有机材料滴滴落在精确的位置上。而且,该传输单元迅速移动滴落单元,并且位置调整单元精确地调整滴落单元的位置。因此,减小了用于烘干注入到空穴中的有机材料的时差。
申请公布号 CN1657181A 申请公布日期 2005.08.24
申请号 CN200510064035.2 申请日期 2005.02.18
申请人 三星电子株式会社 发明人 李东远;崔埈厚;郑镇九
分类号 B05C5/02;B05C11/10;B05C11/00;B05D7/24 主分类号 B05C5/02
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 王冉;王景刚
主权项 1.一种在基板上沉积有机材料的装置,包括:滴落有机材料滴的一滴落单元;沿着一第一方向传输所述滴落单元的一传输单元;和插入在所述滴落单元和所述传输单元之间的一位置调整单元,以调整所述滴落单元的位置。
地址 韩国京畿道