| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING THIN FILM AND APPARATUS FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1296364(A4) |
申请公布日期 |
2005.08.24 |
| 申请号 |
EP20010943818 |
申请日期 |
2001.06.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
SHINRIKI, HIROSHI;MATSUMOTO, KENJI;TATSUMI, TORU |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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