发明名称 DRAIN/SOURCE EXTENSION STRUCTURE OF A FIELD EFFECT TRANSISTOR INCLUDING DOPED HIGH-K SIDEWALL SPACERS AND MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP1565934(A1) 申请公布日期 2005.08.24
申请号 EP20030786592 申请日期 2003.11.06
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 FEUDEL, THOMAS;HORSTMANN, MANFRED;WIECZOREK, KARSTEN;KRUEGEL, STEPHAN
分类号 H01L21/225;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
地址