多层膜截止滤波器及其制造方法

摘要

作为多层膜截止滤波器，将介电体多层膜的反复交替层中的高折射率层H和低折射率层L的光学膜厚平衡H/L或L/H之比设定为1.2～2.0的范围，使厚度平衡发生偏移。作为介电体多层膜的制造方法，在介电体多层膜成膜时，使在光学膜厚计的监测器基板上成膜的比率大于通常的比率。在基板上，以特定的半值波长，设置在430～450nm波长范围内具有70～90％平均透射率的台阶差部分的紫外线反射膜，形成UV截止滤波器。也可将特定半值波长的紫外线反射膜，和在430～450nm波长范围内具有70～90％的平均透射率的台阶差部，在460～520nm波长范围内具有90％以上透射率的蓝色调整膜进行组合。这种UV截止滤波器适用于超高压水银灯光源的投射型显示装置。紫外线反射膜也可设在显示装置的防尘玻璃上。

主权项

1.一种多层膜截止滤波器，在透光性基板上形成具有以各自相同光学膜厚，反复层叠高折射率层和低折射率层的反复交替层的介电体多层膜，其特征是：当上述高折射率层的光学膜厚为H，上述低折射率层的光学膜厚为L时，上述反复交替层中的H/L或L/H之比为1.3～1.5的范围。