发明名称 Device for Polishing Plasma Chamber Cathode Holes
摘要
申请公布号 KR200393534(Y1) 申请公布日期 2005.08.22
申请号 KR20050016263U 申请日期 2005.06.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
地址