发明名称 有机半导体元件及其制造方法
摘要 一种在其中一有机半导体层系容易地被形成成一图案的有机半导体元件,及其之制造方法。在一基体上,一个包括一第一电极的第一结构部份、一个由具有半导体特性之有机化合物制成的有机半导体层、及一个具有一第二电极的第二结构部份系依序被设置。该第二结构部份系被形成成规定图案。该第二结构部份包括一个具有抗蚀刻特性的光罩部份,而且该有机半导体层的蚀刻系在使用该光罩部份作为光罩时被执行。该光罩部份可以是为该第二电极。
申请公布号 TWI238449 申请公布日期 2005.08.21
申请号 TW093115503 申请日期 2004.05.31
申请人 先锋股份有限公司 发明人 永山健一;吉泽达矢;白鸟昌宏
分类号 H01L21/00;H05B33/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种有机半导体元件,包含一个包括一第一电极 的第一结构部份、一个由具有半导体特性之有机 化合物制成的有机半导体层、及一个具有一第二 电极且经由该有机半导体层来与该第一结构部份 相对的第二结构部份;其中 该第二结构部份包括一个由具有抗蚀刻特性之材 料制成的光罩部份;及 该有机半导体层系在利用该光罩部份作为光罩时 藉着蚀刻来被形成成一图案。 2.如申请专利范围第1项所述之有机半导体元件,其 中,该光罩部份系作用如该第二电极。 3.如申请专利范围第1项所述之有机半导体元件,其 中,该防短路层系被设置在该第二电极与该第一电 极之间。 4.如申请专利范围第1项所述之有机半导体元件,其 中,该有机半导体层是为一个包括一具有电致发光 特性之发光层的有机功能层。 5.如申请专利范围第4项所述之有机半导体元件,其 中,该第二结构部份包括一个密封该有机功能层的 密封部份。 6.如申请专利范围第5项所述之有机半导体元件,其 中,该光罩部份系作用如该密封部份。 7.如申请专利范围第1项所述之有机半导体元件,其 中,该第一结构部份包括一个被定位远离该第一电 极的第三电极, 而且该第二结构部份包括一个设置在该有机半导 体层上的绝缘层。 8.如申请专利范围第7项所述之有机半导体元件,其 中,该光罩部份系作用如该绝缘层。 9.一种制造有机半导体元件的方法,该有机半导体 元件包括一个具有一第一电极的第一结构部份、 一个由具有半导体特性之有机化合物制成的有机 半导体层、及一个具有一第二电极且经由该有机 半导体层来与该第一结构部份相对的第二结构部 份,该方法包含: 形成该第一结构部份的第一结构部份形成过程; 形成该有机半导体层于该第一结构部份上的有机 半导体层形成过程; 形成该第二结构部份于该有机半导体层上的第二 结构部份形成过程,该第二结构部份形成过程包括 一个形成一由具有抗蚀刻特性之材料制成之光罩 部份的光罩部份形成过程;及 一个在使用该光罩部份作为光罩时蚀刻该有机半 导体层的蚀刻过程。 10.如申请专利范围第9项所述之制造有机半导体元 件之方法,其中,该光罩部份形成过程包括形成该 第二电极的第二电极形成过程。 11.如申请专利范围第9项所述之制造有机半导体元 件之方法,更包含一个在该第一结构部份形成过程 与该第二结构部份形成过程之间的防短路层形成 过程。 12.如申请专利范围第9项所述之制造有机半导体元 件之方法,其中,该有机半导体层形成过程包括一 个形成一包括一具有电致发光特性之发光层之有 机半导体层的过程。 13.如申请专利范围第12项所述之制造有机半导体 元件之方法,其中,该第二结构部份形成过程包括 一个形成一密封部份的密封部份形成过程。 14.如申请专利范围第13项所述之制造有机半导体 元件之方法,其中,该光罩部份形成过程包括该密 封部份形成过程。 15.如申请专利范围第9项所述之制造有机半导体元 件之方法,其中 该第一结构部份形成过程包括一个形成该第一电 极的第一电极形成过程及一个形成一第三电极在 一远离该第一电极之位置的第三电极形成过程;及 该第二结构部份形成过程包括一个形成一绝缘层 于该有机半导体层上的绝缘层形成过程。 16.如申请专利范围第15项所述之制造有机半导体 元件之方法,其中,该光罩部份形成过程包括该绝 缘层形成过程。 图式简单说明: 第1图是为一个显示本发明之有机半导体元件的横 截面图; 第2图是为一个显示本发明之有机半导体元件之变 化例子的横截面图; 第3图是为一个显示本发明之有机半导体元件之变 化例子的横截面图; 第4(a)-(e)图是为依序显示本发明之有机半导体元 件制造方法之过程的横截面图; 第5图是为一个显示在执行各向同性蚀刻时发生之 侧蚀刻的横截面图; 第6(a)-(e)图是为显示本发明之有机半导体元件制 造方法之变化例子的横截面图; 第7(a)-(f)图是为显示本发明之有机EL显示器面板制 造方法的横截面图; 第8(a)-(e)图是为显示本发明之全彩显示器面板制 造方法的横截面图; 第9(a)-(h)图是为显示本发明之全彩显示器面板制 造方法之变化例子的横截面图; 第10(a)-(e)图是为显示本发明之有机EL显示器面板 制造方法之变化例子的横截面图; 第11(a)-(f)图是为显示本发明之有机EL显示器面板 制造方法之变化例子的横截面图; 第12(a)-(e)图是为显示本发明之有机EL显示器面板 制造方法之过程的横截面图;及 第13(a)-(e)图是为显示本发明之有机TFT制造方法的 横截面图。
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