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发明名称 METHOD OF EXTRACTION FOR MODEL PARAMETER
摘要
申请公布号 KR20050081264(A) 申请公布日期 2005.08.19
申请号 KR20040008952 申请日期 2004.02.11
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JANG, YONG UN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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