| 发明名称 |
SUBSTRATE SUPPORT BUSHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050081839(A) |
申请公布日期 |
2005.08.19 |
| 申请号 |
KR20040069032 |
申请日期 |
2004.08.31 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
KURITA SHINICHI;ANWAR SUHAIL;KIYOTAKE TOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/68;B65G49/06;C03C17/00;C23C16/458;F16C29/00;F16C29/04;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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