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发明名称 STAGE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050081481(A) 申请公布日期 2005.08.19
申请号 KR20040009733 申请日期 2004.02.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SUK WON;AHN, BYUNG IL;KANG, DONG WOO;KIM, KI HYUN;KWON, DAE GAP;KIM, DONG MIN
分类号 B23Q1/34;G01D21/00;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q1/34
代理机构 代理人
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