| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR COMPRENANT UN DIELECTRIQUE DE GRILLE EN MATERIAU A HAUTE PERMITTIVITE DIELECTRIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2853452(B1) |
申请公布日期 |
2005.08.19 |
| 申请号 |
FR20030004008 |
申请日期 |
2003.04.01 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
COSNIER VINCENT;MORAND YVES;KERMARREC OLIVIER;BENSAHEL DANIEL;CAMPIDELLI YVES |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L29/49;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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