发明名称 Deeltjesbron met selecteerbare bundelstroom en energiespreiding.
摘要
申请公布号 NL1025500(C2) 申请公布日期 2005.08.19
申请号 NL20041025500 申请日期 2004.02.17
申请人 FEI COMPANY 发明人 ALEXANDER HENSTRA;JAROSLAV CHMELIK
分类号 G21K1/00;G21K1/02;H01J37/05;H01J37/09;H01J37/153;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
主权项
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