Vielstrahltaster bzw. -messkopf mit justierbarem Strahlwinkel

摘要

Zusammengesetzte Oberflächen eines Testobjektes werden mit einem Vielstrahltaster interferometrisch gemessen. Einer von zwei Messstrahlen tritt aus dem Taster unter einem festen Winkel aus, um eine der zusammengesetzten Oberflächen zu messen, und der andere Messstrahl tritt aus dem Taster unter einem veränderbaren Winkel aus, um eine Vielzahl von anderen zusammengesetzten Oberflächen zu messen.