| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM MESSEN DER TEMPERATUR VON SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50010703(D1) |
申请公布日期 |
2005.08.18 |
| 申请号 |
DE20005010703 |
申请日期 |
2000.01.19 |
| 申请人 |
MATTSON THERMAL PRODUCTS GMBH |
发明人 |
HAUF, MARKUS |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/08;(IPC1-7):G01J5/08 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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