| 发明名称 |
A method of separating a plurality of micro-fabricated devices on a common substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2004202412(B2) |
申请公布日期 |
2005.08.18 |
| 申请号 |
AU20040202412 |
申请日期 |
2004.06.01 |
| 申请人 |
SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD |
发明人 |
KIA SILVERBROOK |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L23/04;(IPC1-7):H01L021/822;H01L023/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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