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发明名称 A COATING FILM FORMATION APPARATUS AND AGING PROCESS APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100509224(B1) 申请公布日期 2005.08.18
申请号 KR19990048580 申请日期 1999.11.04
申请人 发明人
分类号 B05C9/08;B05C9/12;H01L21/00;H01L21/31;(IPC1-7):B05C9/08 主分类号 B05C9/08
代理机构 代理人
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