| 发明名称 |
Verfahren zur Behandlung der Oberfläche eines Substrats |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10392913(T5) |
申请公布日期 |
2005.08.18 |
| 申请号 |
DE20031092913T |
申请日期 |
2003.07.09 |
| 申请人 |
TAKAKUWA, YUJI;TSUKISHIMA KIKAI CO., LTD. |
发明人 |
TAKAKUWA, YUJI |
| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/48;G11B5/39;G11B5/84;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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