发明名称 METHOD FOR CLEANING HARMFUL MATERIALS IN SEMICONDUCTOR WASTE GAS
摘要
申请公布号 KR20050081035(A) 申请公布日期 2005.08.18
申请号 KR20040009264 申请日期 2004.02.12
申请人 FENG WU NIANG 发明人 FENG WU NIANG
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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