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发明名称 SPEICHERANORDNUNG FÜR WAFER
摘要
申请公布号 DE69825458(T2) 申请公布日期 2005.08.18
申请号 DE1998625458T 申请日期 1998.07.03
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V., BILTHOVEN 发明人 ZINGER, JAN;SNIJDERS, GERT-JAN;KOOIJMAN, CORNELIS MARINUS
分类号 B65G1/04;B65G1/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G1/04
代理机构 代理人
主权项
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