| 发明名称 | 有源矩阵显示器件及其制作 | ||
| 摘要 | 一种用于有源矩阵显示器件(16)的有源板(2)，该有源板(2)包括衬底(4)，像素区域(6)和相邻的驱动电路区域(8)。两个区域都包括使用金属来增强结晶过程(MIC多晶硅)的方法制作的多晶硅材料，但是只有驱动电路区域(8)中的MIC多晶硅经历使用能量束(10)的照射过程。TFT使用MIC多晶硅来制作，其在截止状态下的漏电流足够低，可满足在矩阵显示器件的像素区域中作为开关元件。由于只有驱动电路区域(8)需要被照射，以提供具有所需要迁移率的多晶硅，所以可以显著降低照射所需要的时间。 | ||
| 申请公布号 | CN1656602A | 申请公布日期 | 2005.08.17 |
| 申请号 | CN03811497.6 | 申请日期 | 2003.05.15 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | P·J·范德扎亚格;S·Y·勇;N·D·杨 |
| 分类号 | H01L21/20;H01L21/336 | 主分类号 | H01L21/20 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 傅康;梁永 |
| 主权项 | 1.一种用于有源矩阵显示器件(16)的有源板(2)，有源板(2)包括衬底(4)、像素区域(6)和相邻的驱动电路区域(8)，两个区域都包括MIC多晶硅，只有驱动电路区域(8)内的MIC多晶硅经历使用能量束(10)的退火过程。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||