管理衬底处理装置的装置信息的方法及衬底处理系统

摘要

一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。

主权项

1.一种衬底处理系统，通过网络连接衬底处理装置和处理上述衬底处理装置的装置信息的计算机，其特征在于，具有：设置在与上述网络连接的上述衬底处理装置或服务器上，存储有关上述衬底处理装置的装置信息的装置信息存储部件；设置在装有上述装置信息存储部件的上述衬底处理装置或上述服务器上，可经上述网络从上述计算机阅览在上述装置信息存储部件上存储的上述装置信息的装置信息公开部件；上述装置信息公开部件设置在上述装置信息存储部件内。