基板运送装置

摘要

本发明提供一种结构简单、可以小型化的运送装置，其不改变中心位置而可以调整保持基板的一对保持臂的间隔，使一对保持臂在保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间可以旋转。一对保持臂分别被可旋转地支撑于在运送方向上可移动地架装在底座上的一对臂支撑体上，在各保持臂在与运送方向大致为直角的水平方向上突出而保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间通过旋转装置使其旋转。通过臂支撑体接离装置使各臂支撑体在运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离。通过运送移动装置使保持基板的一对臂支撑体在运送方向上一体移动。

主权项

1、一种基板运送装置，通过一对保持臂保持基板的下面，在水平状态下运送基板，其特征在于，包括：一对臂支撑体，其分别可旋转地支撑着所述一对保持臂，在运送方向上可移动地架装在底座上；旋转装置，其使所述一对保持臂在各保持臂在与所述运送方向成大致直角的水平方向上突出而保持所述基板的保持位置和从所述保持位置旋转大致90度的退避位置之间旋转；臂支撑体接离装置，其使各臂支撑体在所述运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离；运送移动装置，其使一对臂支撑体在所述运送方向上一体移动。