包含苯乙烯－烯丙醇共聚物的抗反射涂层和双镶嵌填充组合物

摘要

提供了具有改进流动性的新颖抗反射组合物或填充组合物。所述组合物包含苯乙烯－烯丙醇聚合物以及至少一种除苯乙烯－烯丙醇聚合物之外的其它聚合物(如纤维素聚合物)。本发明组合物可用来保护接触孔或通孔，避免在双镶嵌工艺的蚀刻过程中的性能下降。本发明组合物也可以用来涂覆基片(如硅晶片)，形成具有高蚀刻速率的抗反射涂层，降低或防止随后的光致抗蚀剂曝光和显影期间的光反射。

主权项

1.用来保护基底材料或在基底材料中形成的孔的抗反射或填充组合物，改进之处在于所述组合物包含苯乙烯-烯丙醇聚合物和所述苯乙烯-烯丙醇聚合物之外的其它辅助聚合物。