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发明名称 DRY ETCHING METHOD OF RESISTANCE POLY-SILICON
摘要
申请公布号 KR20050080702(A) 申请公布日期 2005.08.17
申请号 KR20040008810 申请日期 2004.02.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, HAN KI
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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