主权项 |
1、一种缓蚀剂添加装置,包括缓蚀剂储罐(1)、酸液循环罐(2)、酸流量控制器(9)、比例控制器(8)、计量泵控制器(5)、计量泵(3)、缓蚀剂流量计(6)、酸液流量计(7)、超声波液位计(7),其特征在于,计量泵(3)的入口端与缓蚀剂储罐(1)出口联接,出口端与酸液循环罐(2)联接;从酸流量控制器(9)的开关量输出端口取出酸泵起停开关信号送入计量泵控制器(8),作为计量泵控制器(8)的起动连锁信号,从酸流量控制器(9)的输出端口取出酸流量信号送入比例控制器(8)作为设定值信号,由缓蚀剂流量计(6)取出缓蚀剂流量信号并送入比例控制器(8)作为反馈比较信号,将比例控制器(8)的运算输出信号送入计量泵控制器(5)作为控制信号,并由计量泵控制器(5)控制计量泵(3)的转速。 |