| 发明名称 | 下游电浆的改良反应器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种下游电浆的改良反应器。包括一反应腔，具有一底盘、一顶盖及围绕的侧壁及腔门；一气体系统，连通该反应腔以输入及排出反应气体；一电感线圈组态安置在该侧壁外；一交流电源产生器；一介电窗，介于该线圈组态及该反应腔之间；一金属挡板，位于该反应腔中；以及一旋转型直立承台模组。从而，可达到均匀的制程速率、增加生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN2718777Y | 申请公布日期 | 2005.08.17 |
| 申请号 | CN200420087913.3 | 申请日期 | 2004.08.10 |
| 申请人 | 晶研科技股份有限公司 | 发明人 | 陈庆安;巫洧源;陈应毅;赖晋颂;卢铭诠 |
| 分类号 | H01L21/00;H05H1/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曹广生 |
| 主权项 | 1、一种下游电浆的改良反应器，其特征是：包括一反应腔，具有一底盘、一顶盖及围绕的侧壁及腔门；一气体系统，连通该反应腔以输入及排出反应气体；一电感线圈组态安置在该侧壁外，以产生高密度电浆源；一交流电源产生器；一介电窗，介于该线圈组态及该反应腔之间；一金属挡板，位于该反应腔中；以及一旋转型直立承台模组。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||