高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法

摘要

本发明公开了一种高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法，涉及新材料技术领域中的超硬复合膜刀具及其沉积方法，特别是涉及一种纳米晶—非晶结构超硬膜和复合氧化物膜。本刀具是在刀具8上的复合膜依次为起粘附作用的过渡层A、纳米晶—非晶结构nc－TiAlN/a－Si₃N₄超硬膜B、提高耐氧化性能的复合氧化物膜C、低摩擦系数的自润滑膜D。本方法是在真空室4中设置有外靶1、内靶2、离子源3。本发明提供了一种适合产业化生产实际的镀膜方法，具有生产效率高、涂层质量好、生产成本低的特点，对于各种类型的高速钢刀具、硬质合金刀具和陶瓷刀具，以及各种模具都有广泛的应用价值。

主权项

1、一种高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具，包括刀具(8)，其特征在于：在刀具(8)上的复合膜依次为起粘附作用的过渡层(A)、纳米晶—非晶结构nc-TiAlN/a-Si3N4超硬膜(B)、提高耐氧化性能的复合氧化物膜(C)、低摩擦系数的自润滑膜(D)；所述的过渡层(A)为掺稀土元素钇Y的氮化锆ZrN或碳化锆ZrC；所述的超硬膜(B)为纳米尺度的氮化钛铝TiAlN晶粒均匀散布于非晶相氮化硅Si3N4之中的复合膜；所述的复合氧化物膜(C)为纳米尺度的三氧化二铝AL2O3和二氧化锆ZrO2组成的超晶格结构复合氧化物膜；所述的自润滑膜(D)为掺钛Ti的类金刚石DLC-Ti膜。