| 发明名称 |
Thermal compensation in magnetic field influencing of an electron beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2405524(B) |
申请公布日期 |
2005.08.17 |
| 申请号 |
GB20030020292 |
申请日期 |
2003.08.29 |
| 申请人 |
* LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY LIMITED |
发明人 |
ANDREW * DEAN |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/02;H01J37/141;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/141 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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