| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING SPACER OF SEMI-COPNDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050080617(A) |
申请公布日期 |
2005.08.17 |
| 申请号 |
KR20040008697 |
申请日期 |
2004.02.10 |
| 申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
PARK, CHANG HEON;LIM, BYUNG HYUCK |
| 分类号 |
H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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