| 发明名称 | 稀释剂组分及用其除去光刻胶的方法 | ||
| 摘要 | 一种稀释剂组分包括丙二醇醚乙酸酯、甲基2－羟基－2－丙酸甲酯和酯化合物如乳酸乙酯、乙基3－乙氧基丙酸酯或其混合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1655065A | 申请公布日期 | 2005.08.17 |
| 申请号 | CN200510009433.4 | 申请日期 | 2005.02.16 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 安承铉;裵恩美;崔百洵;全相文;金大中;尹广燮;朴相圭;金载昊;李时镛;金京美;尹汝荣 |
| 分类号 | G03F7/42 | 主分类号 | G03F7/42 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 林宇清;谢丽娜 |
| 主权项 | 1、一种稀释剂组分，包括：丙二醇醚乙酸酯；选自由乳酸乙酯、乙基3-乙氧基丙酸酯及其混合物构成的组的至少一种酯化合物；以及甲基2-羟基-2-丙酸甲酯。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||