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发明名称 METHOD OF CLEANING CHAMBER OF VACUUM EVAPORATION APPARATUS FOR PRODUCTION OF ORGANIC EL ELEMENT
摘要
申请公布号 EP1514918(A4) 申请公布日期 2005.08.17
申请号 EP20030760893 申请日期 2003.06.19
申请人 ASAHI GLASS COMPANY LTD. 发明人 HAYASHI, NOBUYA;NARUI, SHINICHIRO;OKAMOTO, HIDEKAZU;TSUZAKI, MASAAKI
分类号 C11D3/24;C11D7/28;C11D7/30;C11D7/50;C11D11/00;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/30;H01L51/40;H01L51/56;(IPC1-7):C11D7/28;B08B3/14;C23C14/00;H05B33/10;H05B33/14 主分类号 C11D3/24
代理机构 代理人
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