| 发明名称 |
基板贴合装置 |
| 摘要 |
本发明公开一种基板贴合装置，其包括第一静电吸盘、第二静电吸盘和控制器，该第二静电吸盘设置在该第一静电吸盘下侧，该控制器连接于该第二静电吸盘，并控制该第二静电吸盘交替产生正电压和负电压。 |
| 申请公布号 |
CN1655022A |
申请公布日期 |
2005.08.17 |
| 申请号 |
CN200410015385.5 |
申请日期 |
2004.02.14 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
江经纬;张彦中 |
| 分类号 |
G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/133 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种基板贴合装置，包括第一静电吸盘和第二静电吸盘，该第二静电吸盘设置在该第一静电吸盘下侧，其特征在于：该基板贴合装置进一步包括一控制器，该控制器连接在该第二静电吸盘，控制该第二静电吸盘交替产生正电压和负电压。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
