发明名称 Semiconductor device and formation method of trench in the semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100508862(B1) 申请公布日期 2005.08.17
申请号 KR20030029944 申请日期 2003.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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