MATERIAL STORAGE SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE PROCESS,申请号KR20030007003-传众专利搜索

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发明名称	MATERIAL STORAGE SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE PROCESS
摘要
申请公布号	KR100508646(B1)	申请公布日期	2005.08.17
申请号	KR20030007003	申请日期	2003.02.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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