照明光学元件检查装置及照明光学元件检查方法

摘要

提供一种可以对照明光学元件进行有效的产品检查，而且可抑制制造成本的照明光学元件检查装置及照明光学元件检查方法。透镜阵列检查装置2配有用于射出平行光束的光源装置320；用于保持把该平行光束分割成多个部分光束的作为检查对象的透镜阵列113、115的透镜阵列支架312、313；投影通过这些透镜阵列113、115射出的光束的光学图像的毛玻璃170，在该毛玻璃170上，形成有与设计上的照明区对应的分辨框。因此，通过被投影到毛玻璃170上的光学图像是否包含有分辨框的范围可对透镜阵列113、115的良否进行判定。

主权项

1.一种照明光学元件检查装置，用于检测由光源通过照明光学元件射出的光束，检查上述照明光学元件的光学特性，其特征在于：配有用于保持成为检查对象的照明光学元件的支架；用于对由被保持在该支架的照明光学元件射出的光束的光学图像进行投影的投影板，在该投影板上形成有与上述照明光学元件的照明区域对应的分辨框。