具有低k値之沸石-含碳氧化物复合物介电质ZEOLITE-CARBON DOPED OXIDE COMPOSITE LOW K DIELECTRIC

摘要

本文揭示一种沸石–含碳氧化物(CDO)复合物介电材料的形成方法。沸石粒子可分散于溶剂中。接着沸石溶剂溶液可沈积在下层，例如晶圆或其他介电层，上面。然后可移除至少部分溶剂而形成沸石膜。接着可使CDO沈积于沸石膜中而形成沸石–CDO复合物膜／介电质。然后可锻烧沸石–CDO复合物膜／介电质而形成固相沸石–CDO复合物介电质。